課程特色
•對精密機械系統的架構設計,以及其對動態特性、控制設計的影響有深入了解。
•從理論及實務面上完整地學習到模態分析的實驗設計到實作流程。
詳細內容
本課程分為三個部分講師先簡介動力學對光刻性能的影響,以半導體曝光機台為例,概略地介紹動態特性對曝光機性能的影響。針對不同的機械系統架構,討論其動態行為及對應的控制設計策略。
第二、三部分為詳細介紹動態建模和模式綜合,以及測量設置和設備選擇,實務上在實驗設計、訊號處理、器材選用等等各個面向需要注意的事項。
工業技術研究院於105年起自荷蘭機構High Tech Institute引進Mechatronics Academy學程,並結合台灣在地種子師資,規劃一系列【MA機電整合工程師】培訓班,期盼增加台灣本土機電整合技術人才。
師資介紹
陳講師
【現職】半導體業研發工程師
【學歷】台大機械所博士
【經歷】
新代科技股份有限公司 – 課長
新代科技股份有限公司 – 研發工程師
【專長】伺服控制設計、機械系統動態分析
報名方式
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