國立臺灣科技大學「微影光學」推廣教育碩士學分班

開課日期:2019-02-18 課程費用:16350
上課時間:週一 / 晚上 學習時程:54小時(每周3小時)
上課地點: 台北市大安區基隆路 4 段 43 號 map
適用對象:
想為深入了解半導體微影製程的相關知識,電子電機及機械相關領域者。
大學畢業或具有報考...看完整
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課程特色
微影光學對於逐漸縮小的半導體元件製程尺寸而言是一重要的製程技術,探討範圍包含微影光學原理、微影製程、微影光罩、及微影製程中所需控制的參數。
所涵蓋的系統包含浸潤式微影系統及遠紫外光微影系統。

*學員修讀期滿且經考試及格者,將發給推廣教育學分證明書;未來入學相關研究所,其修習學分可依本校學生抵免學分辦法抵免。
詳細內容
課程大綱 :
1.半導體微影製程簡介
2.光罩成像原理
3.光阻成像原理
4.光阻種類與材料原理
5.光阻顯影
6.半導體微影製程控制
7.半導體微影製程最佳化
8.解析度增強技術
 
 
 
師資介紹
授課教師:郭鴻飛 教授
學校系所:國立臺灣科技大學自動化及控制研究所
教授課程:光學訊號處理,微影光學,雷射電子學
研究領域微影,雷射,光電系統整合
 
報名方式
如您對本課程有興趣,或需相關諮詢,請於下方留下您的聯絡資訊,我們將派專人與您聯繫,為您安排上課事宜,或回覆問題,感謝您!
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